台半致力於空氣污染防制以落實環境保護，各廠區皆符合當地環保法規要求，並定期進行氣體檢測。主要產生氣體包括酸性廢氣及揮發性有機廢氣（VOCs），另有少許固晶焊接過程的煙氣排放，藉由酸鹼洗滌塔、電離分解、煙塵過濾及VOCs 吸附處理系統處理製程所排放之氣體，並委託第三方檢測機構定期檢測，確保達標排放。
各廠因晶圓製造、封裝測試性質之差異，所產生之空氣污染物略有不同，無排放硫氧化物（SOx）、臭氧層破壞物質、持久性有機污染物（POP）、懸浮微粒（PM）等其他氣體。2023年台灣據點整體VOCs 平均排放量優於環境部訂定之排放標準；山東廠及天津廠VOCs 排放速率分別為0.206kg/hr 及0.039kg/hr，皆優於當地環保單位排放標準。
台半台灣區依循《半導體製造業空氣污染管制及排放標準》，山東及天津廠則依《排汙許可管理辦法》、《大氣污染物綜合排放標準》、《山東省區域性大氣污染物排放標準》、《揮發性有機物排放標準第七部分：其他行業》等法規，透過防治空污設備，以內部與外部稽核方式並行方式進行定期監測。天津廠每年由合格第三方單位進行檢測三次後，計算平均值與排放速率。
台半的主要空氣污染物分為酸、鹼廢氣與揮發性有機廢氣。依據廢氣種類及特性不同，分別利用相對應之處理設備及流程以預防污染。酸、鹼性廢氣及揮發性有機廢氣（VOCs），藉由酸鹼洗滌塔及沸石轉輪焚化系統等各項防治設備來處理製程所排放之氣體，並透過火焰離子化偵檢器（GC-FID 系統）持續監控，確保防制設備處理效率符合法規標準。
| 類型 | 處理方式 |
|---|---|
| 酸/ 鹼性廢氣 | 將酸、鹼性廢氣集中至/ 鹼洗滌塔進行妥善處理，經處理後之廢氣符合排放標準。 |
| 揮發性有機廢氣 | 利澤廠: VOCs 經過沸石轉輪吸附濃縮，接續高溫脫附、觸媒焚化燃燒，經處理後之廢氣符合排放標準，揮發性有機廢氣削減率達90%以上。 宜蘭廠: VOCs 經由洗滌塔處理，以洗滌液沖洗廢氣內的VOCs，並將沖洗的廢液排到廢水系統處理。因宜蘭廠區VOCs 濃度較利澤廠低，以洗滌塔方式處理，無須經沸石轉輪吸附濃縮淨化。 |
